半導體設備大廠應材(APPLIED MATERIALS)2013年9月30日于第28界歐洲太陽光電會議展暨展覽會推出新一代離子植入系統(tǒng),借由內建圖形化工藝的執(zhí)行,減少降低良率的步驟,并且將每小時處理外延片拉升至3000片,有效降低生產成本,并且將太陽能電池轉換效率提高至22%以上。
應材利用離子植入系統(tǒng)過去應用在半導體的經(jīng)驗,將其導入太陽能設備中,提高每小時外延片處理片數(shù)、降低生產成本,并且提升工藝良率,目前應材在太陽能離子植入系統(tǒng)市場市占率約85%-90%,應材也選在第28屆歐洲太陽能光電會議暨展覽會(28th European Solar Energy Conference and Exhibition)推出新一代離子植入系統(tǒng)Solion XP,搶攻太陽能廠商新技術開發(fā)商機。
應材新一代離子植入系統(tǒng)Solion XP能執(zhí)行內建的圖形化摻雜工藝,在生產過程中消除一些會降低良率的步驟,借此大量生產高校電池,并達到優(yōu)越的良率和降低成本的目標,Solion XP具備精密掃描架構和可擴展設計的支援功能,并且將每小時處理外延片數(shù)量由上一代的1100片的水準拉升至3000片以上,有效將低生產成本。
應材副總裁暨能源暨環(huán)保解決方案事業(yè)群太陽能產品總經(jīng)理Jim Mullin指出,Solion XP能在相同或是低于傳統(tǒng)電池和組件成本下,達到電池轉換效率超越22%的表現(xiàn),Solion XP除了可以提升生產效率以外,同時可以進行二維精密圖案N型電池工藝。
應材指出,電池工藝商目前正由P型太陽能電池轉為生產N型太陽能電池,因為N型太陽能電池可以大幅提升電池轉換效率、組件功能輸出與能源采集量,整體每瓦成本和產品差異化更具競爭力。而大量生產N型電池需要先進技術能力,包括精密布圖和優(yōu)質硼摻雜技術,同時簡化制造步驟與生產程序,Solion XP所具備的內建圖案化功能將可精密控制摻雜物接面深度、劑量與硼和磷的配量,促使高效率的載子活化作用,降低N型基板上先進電池結構的整體熱積存。
應材全球產品經(jīng)理Wesley Skinner預期,2015年太陽能廠大舉擴增資本支出的可能性較低,他透露,現(xiàn)階段太陽能業(yè)者多在增加研發(fā)(R&D)資出,決定未來技術走向,著重于技術而非產能的提升,對于應材而言,新技術的發(fā)展也為應材新一代Solion XP帶來機會,目前也與臺廠進行接觸。