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海洋光學(xué)推出適用于非晶矽薄膜測量系統(tǒng)

作者: | 發(fā)布日期: 2012 年 09 月 03 日 10:27 | 分類: 產(chǎn)業(yè)資訊

海洋光學(xué)的NanoCalc系統(tǒng)利用了光譜反射測量技術(shù),為半導(dǎo)體、醫(yī)療和工業(yè)環(huán)境領(lǐng)域的客戶提供光學(xué)薄膜厚度的精確測量。新款預(yù)配置NanoCalc系統(tǒng)面向客戶及新型應(yīng)用,適合深紫外到近紅外波段的檢測。

NanoCalc系統(tǒng)適用于多種波長、多種采樣方式以及光學(xué)厚度(1.0nm-250μm)要求。用戶可以在4種標(biāo)準(zhǔn)型號中(涵蓋~200-1700nm)做出選擇,并且將它們與軟件、反射探頭、光纖和各種附件整合到一起。對于可見光譜(400-850nm)或者紫外可見光譜(250-1050nm)的應(yīng)用,使用者可以通過選擇預(yù)配置的系統(tǒng),使操作更加便利。這個(gè)預(yù)配置的系統(tǒng)包括NanoCalc,反射探頭、樣品臺、標(biāo)準(zhǔn)臺階膜厚Si-SiO2芯片以及可以分析10層薄膜的軟件。
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為了滿足要求更高的應(yīng)用環(huán)境,NanoCalc系統(tǒng)可以與大量的擴(kuò)展軟件、光纖以及諸如掃描平臺、顯微鏡和微光斑聚焦裝置等測量附件一同使用。
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在減反射硬質(zhì)涂層、太陽能電池板上的非晶矽、OLED顯示面板、光刻膠等膜厚測量領(lǐng)域,NanoCalc系統(tǒng)將發(fā)揮尤為重要的作用。
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客戶定制的NanoCalc系統(tǒng)還可以在現(xiàn)場、多點(diǎn)或者真空測量中實(shí)現(xiàn)附加的用戶控制。使用者可以自由選擇合適的光纖元件或者反射探頭。此外,使用者還可以通過其他軟件或者是利用軟件附加功能(包括遠(yuǎn)端控制、線上控制、掃描以及多層測量)控制NanoCalc的功能。
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海洋光學(xué)(www.OceanOpticsChina.cn)是世界領(lǐng)先的光傳感和光譜技術(shù)解決方案提供商,為您提供測量和研究光與物質(zhì)相互作用的先進(jìn)技術(shù)。海洋光學(xué)在亞洲與歐洲設(shè)有分部,自1992年以來,在全球范圍內(nèi)共售出了近20萬套光譜儀。

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