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提升單晶硅制造質(zhì)量 以機器視覺取代人工檢測坩堝

作者: | 發(fā)布日期: 2018 年 06 月 21 日 9:52 | 分類: 產(chǎn)業(yè)資訊

得益于成熟技術(shù)與高成本效益比,太陽能安裝量逐年高升、電價更是持續(xù)下跌,太陽能技術(shù)正在成為世上數(shù)一數(shù)二高效能源。

而挪威科技工業(yè)研究院(SINTEF)的研究人員目前打算利用機器人來提高產(chǎn)品質(zhì)量,進一步提升太陽能應(yīng)用效率。

最佳化單晶硅制程一直以來都是 SINTEF 研究重點,目前研究員則將焦點放在檢測石英坩堝(quartz crucible)上。

該設(shè)備是單晶鑄造制程的重要耗材,為盛裝晶材并進行加熱的容器,得承載材料重量、耐高溫,并在長晶結(jié)束并降溫后,坩堝會破裂且必須要可輕易與硅棒分離;假如坩堝質(zhì)量不好,石英結(jié)晶片在加熱過程中會脫落,并黏著到單晶硅上從而降低成晶率。

SINTEF 太陽能電池研究員 John Atle Bones 表示,原料越好、太陽能電池效率就越高,這也可以同時減少太陽能制造對環(huán)境影響,因此石英坩堝質(zhì)量居關(guān)鍵地位,然而目前坩堝質(zhì)量大多只有肉眼檢查擔保,局限性非常大。

因此研究員打算用機器人取代人工檢查,SINTEF 與挪威科技大學(NTNU)學生開發(fā)搭載眾多光學檢測儀器的機器人,讓機器擁有超視覺和檢測特性。也由于石英坩堝由不同層次結(jié)構(gòu)組成、結(jié)合各種反射率和透明度,因此為檢測出坩堝故障和缺陷,得深入檢查、不能只靠肉眼。

Bones 表示,研發(fā)之初團隊已仔細研究坩堝,確定坩堝質(zhì)量與單晶硅關(guān)系。為得知兩者關(guān)系,團隊可說是非常粗暴、采用破壞性方法,研究員把材料粉碎、研磨并溶解,不過之后的分析也讓團隊確認坩堝擁有多層性質(zhì),并且與硅材質(zhì)量息息相關(guān)。

目前研究人員已經(jīng)成功讓機器人識別坩堝缺陷,SINTEF 新型機器人可快速且可精確掃描坩堝質(zhì)量與狀態(tài),不讓質(zhì)量不佳的坩堝進火爐。

不過打造什么都會的傳感器是個天方夜譚,因此他們結(jié)合一系列檢測儀器,讓儀器能夠相互溝通與串聯(lián),Bones 指出,其中共焦式(confocal)白光傳感器是最重要的機器之一,其可響應(yīng)白光光譜中不同顏色和相對應(yīng)波長。

該機器也包括高解析數(shù)位 CCD 相機,可聚焦在非常細微的點上,只要再連接到機器視覺設(shè)備,系統(tǒng)就能夠識別材料的變化與缺陷。Bones 表示,研究目的是測量石英坩堝的曲率(curvature)和厚度。為了精確檢查每一點,機器人也設(shè)有多個距離傳感器,運用軌道計算讓機器能連續(xù)校正檢測位置。

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