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硅片厚薄不均預防措施

作者: | 發(fā)布日期: 2013 年 03 月 27 日 0:00 | 分類: 行業(yè)知識

硅片厚薄不均預防措施

1、TV偏大或偏小:根據(jù)客戶要求片厚,計算出最佳成本/品質的槽距,鋼線,碳化矽,砂漿密度。

2、TTV》15mm的硅片占比超過0.62%,屬于異常。對于一次切割的單位,應增加導向條(部位不提供),兩次切割的單位最好把導輪(主輥)槽距改一下或第二次切割時砂漿流量增大500公斤/小時(5l/min)或多更換20公斤砂漿。

3、硅片的進刀處的進線端(角)偏薄或偏厚,應修改進刀時的砂漿流量

4、同一個硅片的厚度呈大-小-大-小分布的,應調整切割工藝程序。進給,線速,流量應均勻同步變化。

5、跳線引起的某刀硅片厚度異常,同一個片的厚度異常,不同片子的厚度偏差等,因通過加過濾網(wǎng)/過濾袋/振蕩篩檢程式和切割前仔細過濾,沒有跳線來消除。

硅片厚薄不均預防措施

1、TV偏大或偏?。焊鶕?jù)客戶要求片厚,計算出最佳成本/品質的槽距,鋼線,碳化矽,砂漿密度。

2、TTV》15mm的硅片占比超過0.62%,屬于異常。對于一次切割的單位,應增加導向條(部位不提供),兩次切割的單位最好把導輪(主輥)槽距改一下或第二次切割時砂漿流量增大500公斤/小時(5l/min)或多更換20公斤砂漿。

3、硅片的進刀處的進線端(角)偏薄或偏厚,應修改進刀時的砂漿流量

4、同一個硅片的厚度呈大-小-大-小分布的,應調整切割工藝程序。進給,線速,流量應均勻同步變化。

5、跳線引起的某刀硅片厚度異常,同一個片的厚度異常,不同片子的厚度偏差等,因通過加過濾網(wǎng)/過濾袋/振蕩篩檢程式和切割前仔細過濾,沒有跳線來消除。

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