HIT 電池是異質(zhì)結(jié)( hetero-junction with intrinsic thin-layer , HIT) 太陽(yáng)能電池的簡(jiǎn)稱(chēng)。1997年,日本三洋公司推出了一種商業(yè)化的高效電池設(shè)計(jì)和制造方法,電池制作過(guò)程大致如下:利用PECVD在表面織構(gòu)化后的N型CZ-Si片的正面沉積很薄的本征α-Si:H層和p型α-Si:H層,然后在硅片的背面沉積薄的本征α-Si:H層和n型α-Si:H層;利用濺射技術(shù)在電池的兩面沉積透明氧化物導(dǎo)電薄膜(TCO),用絲網(wǎng)印刷的方法在TCO上制作Ag電極。值得注意的是所有的制作過(guò)程都是在低于200 ℃的條件下進(jìn)行,這對(duì)保證電池的優(yōu)異性能和節(jié)省能耗具有重要的意義。
HIT電池具有高效的原理是:
(1)全部制作工藝都是在低溫下完成,有效地保護(hù)載流子壽命;
(2)雙面制結(jié),可以充分利用背面光線(xiàn);
(3)表面的非晶硅層對(duì)光線(xiàn)有非常好的吸收特性;
(4)采用的n型硅片其載流子壽命很大,遠(yuǎn)大于p型硅,并且由于硅片較薄,有利于載流子擴(kuò)散穿過(guò)襯底被電極收集;
(5)織構(gòu)化的硅片對(duì)太陽(yáng)光的反射降低;
(6)利用PECVD在硅片上沉積非晶硅薄膜過(guò)程中產(chǎn)生的原子氫對(duì)其界面進(jìn)行鈍化,這是該電池取得高效的重要原因。
HIT電池的工藝流程是:
硅片->清洗->制絨->正面沉積->背面沉積->TCO濺射沉積->絲網(wǎng)印刷Ag電極->測(cè)試
這種電池具有結(jié)特性?xún)?yōu)秀、溫度系數(shù)低、生產(chǎn)成本低廉和轉(zhuǎn)換效率高等優(yōu)點(diǎn),所以在光伏市場(chǎng)上受到青睞,商業(yè)化生產(chǎn)速度發(fā)展很快,僅僅兩三年時(shí)間,產(chǎn)品已占整個(gè)光伏市場(chǎng)的5%。
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