近日，無錫松煜科技有限公司先后簽訂了近4億TOPCon設(shè)備訂單，包含ALD、硼擴(kuò)、退火、LPCVD、PECVD等設(shè)備。其中ALD原子層沉積設(shè)備實(shí)現(xiàn)公司有史以來100GW訂單突破。

超大產(chǎn)能是松煜ALD的強(qiáng)勢優(yōu)勢，單面鍍（對應(yīng)116片花籃）產(chǎn)能可達(dá)22000pcs/H以上；此外松煜ALD特有的攜源方式（TMA飽和蒸氣壓），避免了TMA的二次污染，保證進(jìn)入反應(yīng)腔室內(nèi)TMA高純（不含水蒸氣），進(jìn)而保證工藝的長期穩(wěn)定性；松煜ALD采用特殊疊層鈍化處理工藝，大大提高了TOPCon、IBC電池的鈍化效果，且單、雙面鍍膜切換自由。

UPTIME低是硼擴(kuò)散的致命問題，而松煜的硼擴(kuò)散設(shè)備采取了爐口密封使用特殊材料特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了uptime可達(dá)98%。松煜熱式爐原創(chuàng)特有的豎插方式，確保了設(shè)備的大產(chǎn)能以及在超高溫超薄硅片上的彎曲度、掉片和碎片率優(yōu)勢；POLY方面，LPCVD石英管使用壽命延長也取得初步成果；PECVD-poly技術(shù)上，已掌握大批量數(shù)據(jù)并正在測試驗(yàn)證中。

松煜科技是一家集開發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的高速發(fā)展的光伏設(shè)備及半導(dǎo)體工藝設(shè)備專業(yè)制造商，本次近4億元的光伏TOPCon設(shè)備大額訂單彰顯了客戶對松煜公司產(chǎn)品的充分認(rèn)可，也將進(jìn)一步鞏固和深化松煜科技與各電池片生產(chǎn)廠家的業(yè)務(wù)合作。未來，松煜科技將致力精益求精，更好地服務(wù)于廣大客戶。

來源：全球光伏